Microsystème opto-électro-mécanique

Les microsystèmes opto-électro-mécaniques (ou MOEMS, sigle de l'anglais Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems^[1]) forment un sous-ensemble des systèmes micro-électro-mécaniques (MEMS, Micro-Electro-Mechanical Systems). Les MOEMS sont capables de capter ou de manipuler des signaux optiques à une échelle très petite, utilisant des systèmes mécaniques ou électriques intègres.

La technologie de fabrication des MOEMS par la technologie de microusinage usuelle en utilisant des matériaux comme silicium, silice (SiO2), nitrure de silicium et arséniure de gallium (GaAs).

Quelques exemples de MOEMS

• Interrupteurs optiques^[2]
• Connecteurs optiques
• Matrices de micro-miroirs, ou DMD (Digital Micromirror Device) qui définissent les pixels : la première projection cinéma numérique publique d'Europe effectuée par Philippe Binant, en 2000, reposait sur l'utilisation d'un MOEMS développé par TI^[3].
• VCSEL à longueur d'onde variable (Diode laser à cavité verticale émettant par la surface)
• Microbolomètres (bolomètre à l'échelle micromètrique)

Voir aussi

Bibliographie

• Allain trouillet, Introduction à la Micro Optique, cours en ligne, 2008

  Présentation descriptive de l'historique, des principaux concepts de bases et des principales technologies de fabrication des microsystèmes optiques, Consortium « Optique pour l'ingénieur»

• Allain trouillet, Applications de la micro-optique, cours en ligne, 2008

  Présentation descriptive des applications principales des microsystèmes optiques classées à la fois en fonction des propriétés optiques mises en jeu et des domaines d'application envisagés, consortium « Optique pour l'ingénieur»

Notes

1. ↑ CEA Techno(s), n°53, novembre 2000
2. ↑ Interrupteurs optiques, p. 11-13.
3. ↑ Cahiers du cinéma, n°hors-série, avril 2000, p. 32.

Article connexe

• Microsystème électromécanique (MEMS)

Liens

• MEMS

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